WF6 chủ yếu được sử dụng làm nguyên liệu thô cho quá trình lắng đọng hơi hóa học (CVD) của kim loại vonfram trong ngành công nghiệp điện tử. WSi2 làm từ WF6 có thể được sử dụng làm vật liệu dẫn điện trong mạch tích hợp quy mô lớn (LSI), và cũng có thể được sử dụng làm nguyên liệu thô cho điện cực bán dẫn, flo Nguyên liệu thô cho tác nhân hóa học, chất xúc tác trùng hợp, vật liệu quang học, v.v.